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Prozesu horri sputtering deitzen zaio (deposizio elektronikoa). | í‰ste es el proceso conocido como sputtering (deposición electrónica). |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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Substratuaren gaineko deposizioa lortzeko, osagaiek deskarga elektriko batekin ionizatutako gas batean (hots, plasma batean) erreakzionatzen dute. | La deposición sobre el sustrato se materializa mediante la reacción de los ingredientes en un gas ionizado mediante descarga eléctrica, esto es, un plasma. |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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Prozesu horri plasmarekin hobetutako lurrun-deposizio kimiko (PECVD), plasma bidezko lurrun-deposizio kimiko (PCVD) edo, besterik gabe, plasma bidezko deposizio deitzen zaio. | A este proceso también se le conoce como deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD), deposición química de vapor con plasma (PCVD) o simplemente deposición con plasma. |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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CVD bidezko estalduretarako metal egokien artean, titanioa, banadioa, tungstenoa, molibdenoa eta tantaloa ditugu, eta bereziki egokiak dira konposatuen deposiziorako, hala nola titanio karburoaren (TiC), titanio nitruroaren (TiN), aluminio oxidoaren (Al2O3), silizio nitruroaren (Si3N4) eta silizio dioxidoaren (SiO2) deposiziorako. | Los metales favorables para recubrimientos mediante CVD incluyen el titanio, el vanadio, el tungsteno, el molibdeno y el tantalio (tántalo), siendo especialmente adecuados para la deposición de compuestos, tales como el carburo de titanio (TiC), el nitruro de titanio (TiN), el óxido de aluminio (Al2O3), el nitruro de silicio (Si3N4) y el dióxido de silicio (SiO2). |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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Aitzitik, prozesu-kontrola hutseko lurruntzean baino zailagoa da, eta deposizio-abiadurak motelagoak. | Por el contrario, las velocidades de deposición son más lentas y el control de proceso más difícil que en la evaporación al vacío. |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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PVD prozesuen artean, estaldurarik onena eta estalduraren itsaspenik onena eskaintzen duena da. Prozesuaren kontrola konplexuagoa bada ere, deposizio-abiadurak deposizio elektronikoan (sputtering) baino handiagoak dira. | Es el que proporciona la mejor cobertura y adhesión del recubrimiento entre los procesos PVD, aunque el control del proceso es más complejo, las velocidades de deposición son más altas que la deposición electrónica (sputtering). |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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Sputtering-produkzioa txikia denez gero, deposizio-abiadurak motelak izaten dira (prozesuaren bereizgarriak). | Debido a la baja producción de sputtering, las velocidades de deposición son lentas y características de este proceso. |
Materiala: Mekanizazio, konformazio eta muntaia prozesuen gauzatzea |
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